程式碼

04172…

001

002

003

型號

VMS-3020E

VMS-4030E

VMS-5040E

工作台

工作t最大直徑(mm)

500*330

606*466

706*566

玻璃時間能尺寸(mm)

350*280

450*350

550*450

X、Y行程(mm)

300*200

400*300

500*400

負載能力

約。 20公斤

約。30公斤

約。35公斤

右解決方案

0.5μm

0.5μm

0.5μm

精度E1*

前，y≤（3.0+L/200）μm

精度E2*

艾克西≤（3.5+L/300）μm

精度E3*

埃茲≤（3.5+L/150）μm

Z行程(毫米)

標準型

200

選項

250~300

250~350

250~450

儀器重量（公斤）

250

325

500

尺寸(毫米)

610*764*992

720*950*1020

800*1040*1020

馬達

三軸最大。V語言能力

X,Y: 400mm/s Z: 200mm/s

三軸定位精度

0.001毫米

影像系統

相機

2 議員彩色相機

變焦鏡頭

光學手動變焦鏡頭

變焦鏡頭放大倍率

0.7-4.5X

影片放大

28-186X

視場角

11.1-1.7毫米

耗電量

600W

儀器配件

1X 管（標準）

0.5X 管（可選）

西數

變焦鏡頭

0.7-4.5X

0.7-4.5X

額外鏡頭

影片放大

視場角

影片放大

視場角

0.5X（可選）

10X-64X

22-3.4

5X-32X

44-6.8

175

1.0X（標準）

20X-128X

11.1-1.7

10X-64X

22-3.4

92

2.0X（可選）

40X-256X

5.5-0.9

20X-128X

11.1-1.7

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